LC-YAG 激光切割机
LC-YAG 激光切割机采用国际上先进的高效率全水冷激光器、高精度精密平台、精密光学透镜和计算机,是集激光、精密光学机械、计算机和自动控制于一体的高科技产品,是切割硅片和陶瓷片的专用设备。
它的工作原理是:连续 Nd:YAG 激光由声光 Q 开关调制成高重复频率脉冲激光,激光束经精密光学透镜在硅片上聚成光功率密度极高的一个细小点,使硅片溶化、汽化,在计算机控制下的二维精密平台将硅片直线移动,达到激光切割硅片或陶瓷片的目的。

设备构成
全水冷连续 Nd:YAG 激光器和电源,声光 Q 开关和电源, X-Y 精密平台和驱动器,光扩器,精密光学透镜,二极管激光定位指示器,内水冷系统,外水冷系统,联想台式计算机和控制软件,机架 , 控制箱。
性能指标
| Nd:YAG 激光器输出功率(连续) |
70 瓦 |
| 激光脉冲重复频率 |
1 - 50 千赫 (声光 Q 开关系美国生产) |
| X-Y 精密平台 |
美国生产 |
| 行程 |
200×200 毫米 |
| 允许速度 |
350 毫米 / 秒 |
| 重复定位精度 |
± 12 微米 |
| 定位精度 |
30 微米 |
| 直线和平面度 |
25 微米 |
| 激光切割速度 |
~ 40 毫米 / 秒 |
| 激光切割宽度 |
50 微米 |
| 激光切割深度 |
~0.50 毫米 |
外形尺寸 ( 长×宽×高,毫米 )
激光、光学和精密平台系统 1300×500×1100
控制箱(含电源和内水冷系统) 645×740×955
外水冷系统 650×460×550
电源
220伏±10%, 单相,AC,20A,50Hz